钛酸锶（SrTiO₃）是当前应用比较广泛的高温超导单晶基片之一。它与YBaCuO₇等高温超导材料的晶格匹配好，无孪晶结构，物理、机械性能优良。使用多种制膜技术（如磁溅射，脉冲激光沉积，激光分子束外延等）制作的多种高温超导薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm²等指标。SrTiO₃也是高温超导结技术（使用双晶基片或台阶状基片）及基片台阶化（按特定角度斜切并热处理）的首选单晶材料。